檢索結果:共5筆資料 檢索策略: "壓電".ckeyword (精準) and year="93"
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本文主要探討鉛酸鋇陶瓷之基本特性與其添加入銀電極對壓電陶瓷之特性改良,利用X光繞射分析中鉛酸鋇陶瓷與混合電極的結構,四點探針量測其電阻率,光學/電子顯微鏡觀察微觀結構,最後量測其漏電流、電滞曲線與疲…
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目前國外的研究中,主要的微幫浦研究皆是採用微機電(MEMS)的製程技術來做為主要的製作方式,設計上以單純的驅動流體為主,未與特殊用途系統整合來做設計。本研究中針對做為水下微小載具的推進器或是方向輔助…
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本文旨在應用無桿氣壓缸結合壓電致動器,發展XYZ 三軸長行程奈米精度伺服定位平台與控制,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作補償。其中X 軸為獨立軸,YZ 兩軸固定在一起,構成龍門型…
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本研究主要目的是要解決Pb(Zn1/3Nb2/3)O3基陶瓷材料系統的製備方式,以達到完全鈣鈦礦結構的目的,並且瞭解不同製程對於試片特性的影響為何。試片燒結方式採用傳統燒結與微波燒結,除試圖利用微波…
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本論文主要利用化學氣相沉積方式合成氧化銥/氧化釕奈米桿為感測材料在石英感測晶片上的金電極進行沉積,用XRD與FESEM分析氧化銥/氧化釕的薄膜表面結構。其次以QCM 質量式感測器針對有機揮發化合物(…